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走査型電子顕微鏡測定用の校正用標準試料 High Magnification Calibrator (HMC) -High Magnification Calibrator (HMC)
走査型電子顕微鏡測定用の校正用標準試料 High Magnification Calibrator (HMC) -パーク・システムズ・ジャパン株式会社

走査型電子顕微鏡測定用の校正用標準試料 High Magnification Calibrator (HMC)
パーク・システムズ・ジャパン株式会社

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この製品について

HMCサンプルは、5つの異なる幅とピッチ基準を提供する一連のラインで構成されています。この校正用サンプルは、AFM測定やSEMの倍率の水平スケールをキャリブレーションするための、認証された基準ナノメートル定規をユーザーに提供するものです。 また、校正パラメータを正確かつ簡単に求めることができる自動計算ツール【統計解析テンプレート】 (Excelファイル) が付属しています。

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    走査型電子顕微鏡測定用の校正用標準試料 High Magnification Calibrator (HMC)

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走査型電子顕微鏡測定用の校正用標準試料 High Magnification Calibrator (HMC) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ライン幅s (W1~W5) ピッチ値 (P1~P5) トレンチの高さ パターンの長さ 素材 トレーサビリティ
走査型電子顕微鏡測定用の校正用標準試料 High Magnification Calibrator (HMC) -品番-High Magnification Calibrator (HMC)

High Magnification Calibrator (HMC)

要見積もり

20nm~80nmの範囲で5つの認証値

100nm~900nmの範囲で5つの認証値

70nm (認定外)

4.0mm (認証域：中央から3mm)

多結晶シリコン

KOLAS* (KRISS**) はISO 17034:2016に準じています。

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