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シリーズ
走査型電子顕微鏡測定用の校正用標準試料 High Magnification Calibrator (HMC)取扱企業
パーク・システムズ・ジャパン株式会社商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ライン幅s (W1~W5) | ピッチ値 (P1~P5) | トレンチの高さ | パターンの長さ | 素材 | トレーサビリティ |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
High Magnification Calibrator (HMC) |
要見積もり |
20nm~80nmの範囲で5つの認証値 |
100nm~900nmの範囲で5つの認証値 |
70nm (認定外) |
4.0mm (認証域:中央から3mm) |
多結晶シリコン |
KOLAS* (KRISS**) はISO 17034:2016に準じています。 |
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