故障解析アプリケーションに適した真空環境スキャニング Park NX-Hivac-NX-Hivac

故障解析アプリケーションに適した真空環境スキャニング Park NX-Hivac
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この製品について

■NX-Hivac自動真空制御最適な真空状態までのポンピングと排気プロセスが、ワンボタン操作だけで論理的及び視覚的に制御されます。それぞれの工程は色と図式の変化により視覚的にモニタリングができるので、ワンボタン操作の後は真空操作の手順について心配の必要がありません。

■電動ステージによるStepScan自動計測装置に素早く且つ簡単にプログラムが行えます。スキャン、カンチレバーのリフト、ユーザーの設定した座標まで電動ステージの移動、アプローチをする及び繰り返す、というわずか5ステップでスキャンを行えます。

■電動レーザーアライメントユーザーの入力無しでそのまま自動計測ルーティンを継続できます。Park社の最先端のプリアラインされたカンチレバーホルダーを使用することで、交換されたカンチレバー上にレーザービームがフォーカスされます。それから電動ポジションノブによってレーザースポットは、X及びY軸方向に沿って最適化されます。

■クローズドループXYスキャナとZスキャナ試料走査用クローズドループXYスキャナとプローブ走査用クローズドループZスキャナが分離している為に、非常に正確にスキャンを行うことができます。ボウイングエラーが小さく平坦且つ直交動作のXYスキャナにより、全スキャン範囲において1nm未満の平坦動作が可能です。NX-Hivac型は、15μmのスキャンレンジで0.5%のノンリニアリティのZスキャナを装備します。これにより、ユーザーがソフトウエアによる画像処理をしなくても、正確な2D及び3D測定が行えます。

■低ノイズXYZ位置センサー低ノイズXYスキャナにより往復スキャンにおいて0.15%という最小誤差の性能を持つと同時に、Park AFMが業界をリードする低ノイズZ検出器を装備し、正確な試料形状の計測が行えます。

■24ビット デジタル エレクトロニクスNXシリーズ コントローラにより不必要な時間を最小にして、正確性を最大にすることができます。ノンコンタクトモードを含む広範囲な計測モードを可能にした、全デジタル制御の24ビット高速デバイスです。低ノイズ設計と高速処理機構により、ナノスケールイメージングと同様に高分解能による電圧及び電流計測も可能です。内蔵エレクトロニクスのデジタル処理機能により、計測データや画像データを簡単に解析できます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
故障解析アプリケーションに適した真空環境スキャニング Park NX-Hivac

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故障解析アプリケーションに適した真空環境スキャニング Park NX-Hivac 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	Zスキャナスキャン範囲	Zスキャナハイト (高さ) ノイズレベル	XYスキャナスキャン範囲	電動Zステージ駆動距離	フォーカスステージ駆動範囲	XYステージ駆動範囲	サンプルサイズ	サンプル重量	視野	CCDピクセル	内部真空チャンバー	外部真空 (グラナイト＆ポンプを含む)	真空レベル	真空引きスピード
	NX-Hivac	要見積もり	15μm (オプションにて30μm)	30pm、0.5kHz bandwidth/rms (typical)	50µm×50µm (オプションにて100µm×100µm)	24mm (電動)	11mm (電動)	22µm×22µm (電動)	最大50mmx50mmのオープンスペース、厚さ最大20mmまで	<500g	840µm×630µm (10x対物レンズ使用の場合)	5Mピクセル	300mmx420mmx320mm	800mmx950mmx1,240mm	1x10-5torr以下	10-5torr/5分以内