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超純水帯電防止器 MEGCON ラックタイプ-1000AD
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超純水帯電防止器 MEGCON ラックタイプ-NGKフィルテック株式会社

超純水帯電防止器 MEGCON ラックタイプ
NGKフィルテック株式会社

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この製品について

超純水の比抵抗を自動制御し、精密洗浄における静電気障害を解決。 MEGCONは膜を介し炭酸ガスを超純水に溶解させ、比抵抗を調整した機能水を作り出すことで、静電気発生を抑制。 　⇒下記のような製品不良を抑制 　　・回路破壊 (=静電破壊) 　　・被洗浄物の表面荷電、微粒子の再付着

■特長

　1.自動かつ豊富な制御方法 　　・流量変動時の自動比抵抗制御により、複数台のダイサー・洗浄機に接続可能。 　　・ダイサー・洗浄機までの距離に準じて3種類の制御方法を選択可能。 　2.効率的なガス供給 　　・流量に応じたガス量制御でガス消費量を最小化。 　　　(0.5MΩ・cm、9L/minの条件下でガス消費1.62g/h) 　　・外部供給、内部ボンベのどちらでも対応可能 　　・膜方式でのガス溶解によって、微粒子混入リスク最小化 　3.豊富なラインナップ 　　・大流量タイプ(～4,000L/h)、小流量タイプ(30L/h～)をラインナップ 　4.外部還流式中空糸膜の使用により超純水圧力損失を最小化

■接液部

・セル (炭酸ガス導入部) :PP ・配管：ブレードホース(PVC) ・導電率センサー:Ti,PVC

■ユーティリティ

・超純水 圧力:常用0.35MPa以下 (最大0.45MPa) /温度：5～35℃/水質:10MΩ・cm以上 ・CO2ガス 圧力:0.1～0.2MPa/温度：5～35℃/純度：99.5%以上 ・電源 AC100-240V (50/60Hz) ・クリーンエアー (膜乾燥用) 　PRCシリーズ エアーポンプ内蔵のため不要 　FRCシリーズ 0.1～0.2MPa/温度5～35℃/ミストレス・パーティクルレス

■標準付属品

・取扱説明書 ・検査成績書 ・電源コード

■オプション

下記以外にも多数選択可。 ・PFA/塩ビ配管 ・SECS I/F

■用途

・ダイシング工程における洗浄 ・高圧ジェット洗浄 ・スクラバー洗浄 ・液晶パネルの洗浄 ・フォトマスクおよびレクチルの洗浄 など

■実績

・OSAT ・洗浄機メーカー ・露光装置メーカー 　※合計約7,000件の販売実績あり。

  • シリーズ

    超純水帯電防止器 MEGCON ラックタイプ

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超純水帯電防止器 MEGCON ラックタイプ 品番5件

フィルター
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超純水帯電防止器 MEGCON ラックタイプ-品番-1000AD

1000AD

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ホース用ノズル（IDφ19 ブレードホース用）

超純水帯電防止器 MEGCON ラックタイプ-品番-1200ACD

1200ACD

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480W×355D×200H

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ホース用ノズル（IDφ19 ブレードホース用）

超純水帯電防止器 MEGCON ラックタイプ-品番-2000AD

2000AD

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480W×355D×200H

15

ホース用ノズル（IDφ19 ブレードホース用）

超純水帯電防止器 MEGCON ラックタイプ-品番-1220ACD

1220ACD

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480W×355D×200H

15

ホース用ノズル（IDφ19 ブレードホース用）

超純水帯電防止器 MEGCON ラックタイプ-品番-2040AD

2040AD

要見積もり

4,000

0.2－2.0

480W×355D×200H

15

ホース用ノズル（IDφ19 ブレードホース用）

この商品の取り扱い会社情報

NGKフィルテック株式会社

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会社概要

分離膜の総合エンジニアリングメーカーとして、セラミック膜・有機膜の各々の特長を生かし、多種多様なニーズに対して最適な分離膜システムを設計・製造・販売しています。

＜ISO 9001＞2001年　取得

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  • 本社所在地: 神奈川県
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