超純水帯電防止器 MEGCON PRCⅡ+／FRCⅡ+シリーズラックタイプ-1000ACD

超純水帯電防止器 MEGCON PRCⅡ+／FRCⅡ+シリーズラックタイプ
NGKフィルテック株式会社

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この製品について

半導体部品の精密洗浄における静電気に起因する障害を解決するため、超純水の比抵抗を調整した機能水を提供します。

■概要通常の精密洗浄は、イオン成分が殆ど存在しない超純水での洗浄となるため、静電気が発生し易く、下記の様な障害から製品不良の一因となっているケースがあります。

・静電気による回路破壊 (=静電破) 
・被洗浄物の表面荷電、静電気による微粒子の再付着

超純水帯電防止器MEGCONは、超純水の比抵抗を調整した機能水を作り出すことで、超純水による静電気の発生を抑え、製品不良の低減 (歩留り向上) に貢献します。

■用途・ダイシング工程における洗浄
・高圧ジェット洗浄
・スクラバー洗浄
・液晶パネルの洗浄
・フォトマスクおよびレクチルの洗浄 など

■特長・微粒子混入リスクが少なく、また炭酸ガスの消費量が少ない
・フィードバック制御のため、流量変動に対して、目標比抵抗値へ素早く制御可能
・装置出入りでの超純水の圧力損失が小さい
・欧州へ輸出可能なCEマーキングシリーズをラインアップ
・大流量に対応 (大流量機能をラインアップ) 

■原理炭酸ガスを膜を介して超純水に溶解します。

■寸法480W×355D×200H mm

■重量        15kg

■接液部セル (炭酸ガス導入部) :PP

■材質        配管:PVCブレードホース

■超純水 接続口径ホース用ノズル (IDφ19 ブレードホース用) 

■ユーティリティ・超純水 圧力:常用0.35MPa以下 (最大0.45MPa以) /温度:5～35℃/水質:10MΩ・cm以上
・CO2ガス 圧力:0.1～0.2MPa/温度;5～35℃/純度:99.5%以上
・電源 AC100-240V (50/60Hz) 

■ドライエアー (膜乾燥用) ・PRCシリーズ エアーポンプ内蔵のため不要
・FRCシリーズ 0.1～0.2MPa

■標準付属品 ・取扱説明書
・検査成績書
・100-120V:電源コード2.8m (プラグ付) 
・200-240V:コード 無 (端子台に接続してください) 