超純水帯電防止器 MEGCON PRCⅡ+シリーズキャビネットタイプ-1000ACD

超純水帯電防止器 MEGCON PRCⅡ+シリーズキャビネットタイプ
NGKフィルテック株式会社

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この製品について

半導体部品の精密洗浄における静電気に起因する障害を解決するため、超純水の比抵抗を調整した機能水を提供します。

■概要通常の精密洗浄は、イオン成分が殆ど存在しない超純水での洗浄となるため、静電気が発生し易く、下記の様な障害から製品不良の一因となっているケースがあります。

・静電気による回路破壊 (=静電破) 
・被洗浄物の表面荷電、静電気による微粒子の再付着

超純水帯電防止器MEGCONは、超純水の比抵抗を調整した機能水を作り出すことで、超純水による静電気の発生を抑え、製品不良の低減 (歩留り向上) に貢献します。

■用途・ダイシング工程における洗浄
・高圧ジェット洗浄
・スクラバー洗浄
・液晶パネルの洗浄
・フォトマスクおよびレクチルの洗浄 など

■特長・微粒子混入リスクが少なく、また炭酸ガスの消費量が少ない
・フィードバック制御のため、流量変動に対して、目標比抵抗値へ素早く制御可能
・装置出入りでの超純水の圧力損失が小さい
・欧州へ輸出可能なCEマーキングシリーズをラインアップ
・大流量に対応 (大流量機能をラインアップ) 

■原理炭酸ガスを膜を介して超純水に溶解します。

■接液部セル (炭酸ガス導入部) :PP

■ユーティリティ・超純水 圧力:常用0.35MPa以下 (最大0.45MPa以) /温度：5～35℃/水質:10MΩ・cm以上
・CO2ガス 圧力:0.1～0.2MPa/温度：5～35℃/純度：99.5%以上
・ドライエアー (膜乾燥用) エアーポンプ内蔵のため不要
・電源 AC100-240V (50/60Hz) 

■標準付属品 ・取扱説明書
・検査成績書
・100-120V:電源コード2.8m (プラグ付) 
・200-240V:電源コード 5m (プラグ無) 
-Sタイプは、ブザー付2色灯＋レベラー・キャスター付となります。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
超純水帯電防止器 MEGCON PRCⅡ+シリーズキャビネットタイプ

取扱企業
NGKフィルテック株式会社

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超純水帯電防止器 MEGCON PRCⅡ+シリーズキャビネットタイプ品番10件

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品番	価格 (税抜)	最大流量	制御域	寸法	重量	材質	超純水接続口径
1000ACD	要見積もり	1,000	0.2~2.0	520W×400D×1,150H mm	65kg	配管:PVC ブレードホース	Rc1/2
1000ACD-S	要見積もり	1,000	0.2~2.0	520W×400D×1,415H mm	66kg	配管:PVC ブレードホース	Rc1/2
1200ACD	要見積もり	1,000	0.1~0.5	520W×400D×1,150H mm	65kg	配管:PVC ブレードホース	Rc1/2
1200ACD-S	要見積もり	1,000	0.1~0.5	520W×400D×1,415H mm	66kg	配管:PVC ブレードホース	Rc1/2
2000ACD	要見積もり	2,000	0.2~2.0	520W×400D×1,150H mm	65kg	配管:PVC ブレードホース	Rc3/4
2000ACD-S	要見積もり	2,000	0.2~2.0	520W×400D×1,415H mm	66kg	配管:PVC ブレードホース	Rc3/4
1220ACD	要見積もり	2,000	0.15~1.0	520W×400D×1,150H mm	65kg	配管:PVC ブレードホース	Rc3/4
1220ACD-S	要見積もり	2,000	0.15~1.0	520W×400D×1,415H mm	66kg	配管:PVC ブレードホース	Rc3/4
2040ACD	要見積もり	4,000	0.2~2.0	520W×400D×1,150H mm	70kg	配管:PVC	Rc1 1/4
2040ACD-S	要見積もり	4,000	0.2~2.0	520W×400D×1,415H mm	71kg	配管:PVC	Rc1 1/4