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異物検査装置 WiN-10-WiN-10
異物検査装置 WiN-10-ナノ・ソルテック株式会社

異物検査装置 WiN-10
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この製品について

4~12インチのノンパターンウェハーに対応した異物検査装置で、パワー・ロジックデバイスの製造過程での各種装置のパーティクル管理に適しています。独自の光学系技術により金属膜での感度も従来の同等機に比べて劇的な向上を図っているほか、24インチの大型モニターを搭載。タッチパネル操作も可能にするなど、優れた操作性を意識した設計となっています。

■特徴

・安心の国内設計・製造 ・4インチ、5インチ、6インチ、8インチ、12インチWaferに対応 ・SiCウェハ対応 ・大型モニターでの高い操作性 ・最新光学系搭載 ・最高感度60nm (Bare Si) ・メタル膜上も高感度検査 ・SFS6420からの代替機として

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    異物検査装置 WiN-10

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使用用途

#医薬品製造 #食品加工 #電子部品検査 #プラスチック成形品検査 #金属加工品検査 #包装工程検査 #クリーンルーム工程 #自動車部品検査

検出方式

X線検出型 光学式検出型 金属探知型 赤外線検出型

機能

自動排除機能 リアルタイム検出 複数異物対応型

特徴

高精度型 高速処理型 コンパクト型 多機能型

電源電圧 V

90 100 200

処理能力 KG/h

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500

重量 kg

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40

搬送ベルト幅 mm

400 - 500 500 - 700 700 - 800

最大巻き径 mm

300 - 400 400 - 600 600 - 700

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