3BM リテーナーリング
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この製品について

■3BM®︎リテーナーリングを使うことでの利点3BMリテーナーリングは4項目においてPPSより上回っております。
1.耐摩耗性
2.スクラッチ量
3.環境負荷
4.コスト (素材) 

■特徴・対PAD摩耗性能は3倍以上。
・スラリー凝集によるスクラッチは酸化膜工程で1/4以下になり、W工程では約半分の実績があります。
・使用済みの3BMリテーナーリングはご希望があれば無料で回収します。PET樹脂ですのでリサイクルが可能です。
・PET系樹脂である3BMはPPSに比べて素材レベルでのコストは1/9になります。

■3BM®︎リテーナーリングの紹介通常、リテーナーリングはスーパーエンジニアリングプラスチックであるPPS樹脂 (ポリフェニレンサルファイド) を主成分としているためリサイクルできませんが、今回開発した3BM®︎リテーナーリングは、リサイクル可能なPET樹脂を使用しています。リテーナーリングは消耗品です。CMP工程の中で、ウェハーと共に研磨され、数ミリ研磨されると取り替える必要があります。リテーナーリングはCMP工程においてなくてはならないもので今後もなくなることはありません。

当社の調べだと500ton/年ものPPS製リテーナーリングが世界中で埋立処分されています。PPS樹脂からPET樹脂に変えることでリサイクル率が0%から88%になります。半導体工場では他にも様々な環境破壊の元になるものが使われています。全てのこの問題を解決することはできませんが、私たちは環境に少しでも配慮できるように努めます。 

3BMTMは、従来のPETの弱点を克服し、CMP用リテーナーリングに特化して開発されたものです。そのため、キズの発生を大幅に低減することができました。
■優れた耐摩耗性PPSの約3倍

■高い寸法安定性吸水率、線膨張係数が低く、歪みが少ない。

■高い強度と剛性高い荷重や摩耗に耐えられるので、精密機械部品に適しています。

■不純物を溶出しない化学的安定性、製造方法の工夫 →クリーンネスは米国FDA規格 (食品安全性) に適合している。