ロードロック式周波数調整装置 SFE-B03-II
三弘エマテック株式会社

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この製品について

■製品説明水晶デバイスの周波数調整を行う事を目的とした装置となります。省スペース、高精度、高生産性を実現したスタンダードモデルです。

■特徴省スペース・高精度・低価格・タクトタイム0.4s/pcs以下を実現しました。 (※SMD3.2×2.5、24MHz、H1,000ppm/s、L50ppm/sの場合) 新型イオンソース (ビーム幅：100mm) を搭載しており、標準24～32個同時処理が可能となりました。高精度・高安定・高再現性の搬送機構の採用により、1.2×1.0以下の微小ワークも、安定して生産できます。

FLモード (負荷容量自動演算モード) を搭載しています。イオンソース本体・コンタクト機構のメンテナンス性が大幅に向上しました。2室ロードロック方式を採用することで、処理室は常時真空に保持されているので、タクトタイムが真空排気及び大気開放の時間に依存しません。

■オプション・マガジン搬送・オーバードライブ機能付き LD/ULD (三生電子株式会社製) 
・小型ワークコンタクト調整システム 「サーチロイド」

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ロードロック式周波数調整装置 SFE-B03-II

取扱企業
三弘エマテック株式会社

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2024年9月9日にレビュー済み

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ロードロック式周波数調整装置 SFE-B03-II 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	メーカー	処理方式	排気ポンプ	設置寸法	装置重量	チャンバー (真空槽) 処理室	装置構成	搬送系	イオンソース	計測器	周調工程	タクトタイム	調整制度	処理数	生産量
	SFE-B03-Ⅱ	要見積もり	(株) 昭和真空	ロードロック式	油回転真空ポンプ (RP) +ターボ分子ポンプ (TMP)	W1,200mm×D1,300mm×H1,800mm	1,000kg	W475mm×D500mm×H220mm	2室 (仕込室、処理室) インターバック式	1軸×方向のみ	100mmビーム矩形型 1式→24ビーム (4mmピッチ)	ネットワークアナライザー/周波数カウンター4台 (6素子/1台)	1~4階段 (H,M,L,LL)	0.4sec/pc以下	±1.5ppm以下	最大24列 (p4.0) ×32列	10,000pcs/時間以上