コンポーネント電源ターゲット切替器 EXN-Aシリーズ
三弘エマテック株式会社

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この製品について

■製品説明EXNシリーズは、ターゲット切替器として使用される装置で、複数の異なる用途に対する電力供給DCスパッタ用電極やRFスパッタ用電極なども含まれます。

■特徴マッチングボックスの出力を切り替え可能：EXNシリーズは、マッチングボックスの出力を切り替えることができます。これは、異なるターゲットやアプリケーションに異なる電力を供給する必要がある場合に便利です。

■カソード別のマッチングボックスの設置不要通常、異なるカソード (ターゲット) ごとに個別のマッチングボックスを設置する必要がありますが、EXNシリーズを使用することで、これらの個別の設置が不要になり、装置コストを削減できます。

■切替方式EXNシリーズは、手動とモーター駆動の0つの切替方式を提供しています。これにより、操作の柔軟性が向上し、使用者の要求に合わせて選択できます。さらに、より大電力に対応した水冷方式も提供されています。

DC電源およびDCパルス電源の出力切替：EXNシリーズは、DC電源およびDCパルス電源の出力を切り替えるためにも使用できます。これは、異なる電源が必要な場合に便利です。マッチングボックスは1台：通常、異なるマッチングボックスが異なる負荷に合わせて必要ですが、EXNシリーズを使用することで、1台のマッチングボックスで複数の用途に対応できます。

ただし、整合範囲を超える負荷には使用できないことに注意してください。この装置は、異なる電極や電源への電力供給を効率的に切り替えるために使用され、装置のコスト削減や操作の簡素化に貢献します。

型番
この商品には6種類の型番があります

シリーズ
コンポーネント電源ターゲット切替器 EXN-Aシリーズ

取扱企業
三弘エマテック株式会社

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2024年9月6日にレビュー済み

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コンポーネント電源ターゲット切替器 EXN-Aシリーズ品番6件

フィルター

品番	価格 (税抜)	メーカー	切替接点 2点 3点 4点 2点 (電動式) 3点 (電動式) 4点 (電動式)	ホットスイッチ	使用周波数	定格通電電流	接点間 50Hz	接点 60Hz	接点-GND間 50Hz	接点-GND間 60Hz	切替方式手動式電動式	モータ定格電圧	モータ定格電流	接点位置出力	冷却方式	高周波接続用端子	設置場所温度	設置場所湿度
EXN2T-40A	要見積もり	(株) アルバック	2点	ホットスイッチは使用不可	DC-13.56MHz	40A	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	手動式	DC24V	0.22A (最大0.75A)	マイクロスイッチ (接点容量 0.25A 24VDC)	自然風冷 (ファンを使用しない冷却方式)	O4mmボルト止め	5℃~35℃	30%~80% (ただし結露無きこと)
EXN3T-40A	要見積もり	(株) アルバック	3点	ホットスイッチは使用不可	DC-13.56MHz	40A	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	手動式	DC24V	0.22A (最大0.75A)	マイクロスイッチ (接点容量 0.25A 24VDC)	自然風冷 (ファンを使用しない冷却方式)	O4mmボルト止め	5℃~35℃	30%~80% (ただし結露無きこと)
EXN4T-40A	要見積もり	(株) アルバック	4点	ホットスイッチは使用不可	DC-13.56MHz	40A	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	手動式	DC24V	0.22A (最大0.75A)	マイクロスイッチ (接点容量 0.25A 24VDC)	自然風冷 (ファンを使用しない冷却方式)	O4mmボルト止め	5℃~35℃	30%~80% (ただし結露無きこと)
EXN2M-40A	要見積もり	(株) アルバック	2点 (電動式)	ホットスイッチは使用不可	DC-13.56MHz	40A	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	電動式	DC24V	0.22A (最大0.75A)	マイクロスイッチ (接点容量 0.25A 24VDC)	自然風冷 (ファンを使用しない冷却方式)	O4mmボルト止め	5℃~35℃	30%~80% (ただし結露無きこと)
EXN3M-40A	要見積もり	(株) アルバック	3点 (電動式)	ホットスイッチは使用不可	DC-13.56MHz	40A	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	電動式	DC24V	0.22A (最大0.75A)	マイクロスイッチ (接点容量 0.25A 24VDC)	自然風冷 (ファンを使用しない冷却方式)	O4mmボルト止め	5℃~35℃	30%~80% (ただし結露無きこと)
EXN4M-40A	要見積もり	(株) アルバック	4点 (電動式)	ホットスイッチは使用不可	DC-13.56MHz	40A	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	AC 10kV 1分間	電動式	DC24V	0.22A (最大0.75A)	マイクロスイッチ (接点容量 0.25A 24VDC)	自然風冷 (ファンを使用しない冷却方式)	O4mmボルト止め	5℃~35℃	30%~80% (ただし結露無きこと)