薄膜装置向け配管加熱ヒーター
ラックデザイン株式会社

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この製品について

薄膜装置CVD、PVD、ALD、Etcher等の入気配管・排気配管・チャンバー本体の配管加熱、本体加熱ヒーターを製造しております。リボンヒーター等をお使いで、お困りの事はございませんか。脱着が容易で、均熱が取れる配管加熱ヒーター　「ヒーティングジャケット」をお試し下さい。200℃以上の加熱が可能です。

当社のヒーティングジャケットは、細配管を高温 (200℃) に加熱するための理想的なソリューションです。このヒーティングジャケットを使用することで、簡単に、安全に、正確に、配管を加熱することができます。当社のヒーティングジャケットは、簡単に着脱できるため、配管の取り付けやメンテナンス作業をスムーズに行うことができます。また、様々な配管に対応するように設計され、各種サイズに合わせたカスタマイズも可能です。

薄膜装置 (CVD、PVD、ALD、Etcher等) 200℃までの高温加熱に対応するヒーティングジャケットをお探しの方は、ぜひ当社のヒーティングジャケットをご検討ください。当社のヒーティングジャケットは、高品質で高効率な加熱を実現し、作業の効率化に貢献することができます。