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ヒーティングジャケット 配管加熱ヒータ-ヒーティングジャケット
ヒーティングジャケット 配管加熱ヒータ-ラックデザイン株式会社

ヒーティングジャケット 配管加熱ヒータ
ラックデザイン株式会社



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この製品について

縫製技術とエレクトロニクス技術を融合させた配管加熱ヒータ=ヒーティングジャケット。CVD、PVD、ALD、Echerなど半導体装置向け、入気細配管、排気配管の加熱用です。300℃以上の加熱も可能で、クリーンルーム対応。省エネでクリーンな配管加熱ヒータです。課題解決にお役に立ちます。

■目的

・効率の良い配管加熱 ・⇒排気ガスの凝結による配管詰まり防止 ・⇒ガス凝結防止 ・⇒クリーニング後の装置立上げの時間短縮

■使用箇所

・半導体/ FPD製造装置とその排気配管 ・真空ポンプ周辺/除害装置 ・ガス導入配管

■特徴 (ラックデザイン製)

・二重絶縁構造による、高い信頼性&耐久性 ・狭ピッチ縫製可能 ・耐熱性:800℃ ・不燃性素材で構成 ・過昇防止のためサーマルプロテクタで保護 ・二重絶縁構造ヒータ線耐熱800℃ ・シリコンコートガラスクロス、テフロンコートガラスクロス ・ガラスフェルト等 ・焼成済ガラスクロス ・加熱電力 約40%off ・⇒表面温度 4割低い92℃ ・⇒55℃ ・⇒エアコン電力の削減 ・レーザー機 ・自動裁断機 ・自動縫製機 ・CADによる設計、 ・NCミシンによるヒーター配線縫製 ・熟練縫製技能者による丁寧な仕上げ縫製

■クルーンルーム仕様

・ 外皮:パーティクルの発生しにくい素材を使用 ・ 耐水、耐曲げ、耐切断素材 ・ 使用材質は、耐熱、不燃材料であり、クリーンルームクラス10の能力を有する。 ・ 構成材料の構造としてパーティクル発生を抑える。

  • シリーズ

    ヒーティングジャケット 配管加熱ヒータ

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ヒーティングジャケット 配管加熱ヒータ 品番1件

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ヒーティングジャケット

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使用用途

#タンク #液体 #乾燥 #気体 #金型 #固体 #暖房 #凍結防止 #配管 #保温

発熱方式

電気抵抗加熱 誘導加熱 赤外線加熱

構造形状

シーズヒーター カートリッジヒーター パネルヒーター ワイヤーヒーター

制御方式

サーモスタット制御 PID制御 自己制御型

使用環境

空気加熱用 液体加熱用

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