LN2流量コントローラ
コレット工業株式会社

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この製品について

■概要チャンバ内をRT (0℃) 以下に冷却する際、液体窒素を使います。LN2流量コントローラーは気化した窒素の質量流量を設定温度に合わせてコントロールします。温度コントローラー (MC-1000シリーズ) と合わせて使います。

■特長・フローメーターで流量を読み取ることができます。
・LN2流量調整バルブ、結露防止ガスカーテン調整機能を内蔵しています。
・結露防止ガスカーテンにサーモスタットを内蔵しています。