試料チャンバ LMT-Sシリーズ (レーザー三次元測定機用) -C-705 (レーザー三次元測定機用)

試料チャンバ LMT-Sシリーズ (レーザー三次元測定機用)
コレット工業株式会社

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この製品について

■概要半導体パッケージ、ベアチップ、プリント基板、各種素材など-120℃から350℃温度変化による熱変形をレーザー三次元測定機による非接触にて測定することを目的としたチャンバです。

■正確な温度制御流量制御された液体窒素と高精度温調器のヒーター出力制御による高精度の温度制御と温度保持精度±0.2℃以内を実現しています。

■均一な表面温度試料ステージにはクライオ処理、アニール処理による熱歪みを最小限に抑えた熱伝導性の高い純銀を使用しており、表面温度を均一に保つことができます。

■均一な平面度純銀試料ステージに温度変化を与えた後、チャンバ内組立後、三次加工による機械精度の平面度を確保しています。

■幅広い適応性各種レーザー三次元測定機メーカーを問わず取付脱着が可能です。

■高品質で低価格自社生産による、製作工程、品質管理の徹底により、高品質で低価格にて提供しております。

■特注品の製作お打ち合わせに始まり、設計、製作、組立、テストの工程全てを自社で行い、特注品の製作も数多く手がけております。

■詳細・高温度使用時においても水冷によるチャンバケースは常温に保っており、火傷などの危険に対する配慮がなされています。
・低温度使用時においては、液体窒素の流れる配管をSUS製テーパーネジ止めによる割れ、脱落、漏れがない接続ができ、凍傷の危険に対する配慮がなされています。
・N2過圧式による液体窒素の供給においても一定圧を超えると圧力を逃す精密減圧弁をサイフォンに設けており、安全に液体窒素の供給ができます。
・液体窒素供給ホースには安全性の高い (SUS＋シリコン) 専用ブレードホースを使用しています。

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
試料チャンバ LMT-Sシリーズ (レーザー三次元測定機用)

取扱企業
コレット工業株式会社

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試料チャンバ LMT-Sシリーズ (レーザー三次元測定機用) 品番4件

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品番	価格 (税抜)	チャンバ型式	測定温度	試料サイズ (直径)	試料サイズ (厚さ)	ワーキングディスタンス	試料設置	試料雰囲気	観察窓部 (石英ガラス)	観察窓部 (厚さ)	観察窓部 (材質)	給水容量	水冷機構	本体・上蓋の材質	ステージの材質	寸法 (mm)	重量 (kg)
C-705 (レーザー三次元測定機用)	要見積もり	S-5-50L	-120℃⇔350℃	50mm	10mm (MAX)	15mm以上	上部より設置	大気、不活性ガス雰囲気中	50mm	1.0mm	石英ガラス	市水2L/min	空冷式水冷循環装置 (OP)	アルミニウム合金	銀・ステンレス	W160XD160XH53	3.8
C-707 (レーザー三次元測定機用)	要見積もり	S-5-70L	-100℃⇔350℃	70mm	10mm (MAX)	15mm以上	上部より設置	大気、不活性ガス雰囲気中	70mm	1.0mm	石英ガラス	市水2L/min	空冷式水冷循環装置 (OP)	アルミニウム合金	銀・ステンレス	W160XD160XH53	4.2
C-710 (レーザー三次元測定機用)	要見積もり	S-5-100L	-80℃⇔350℃	100mm	10mm (MAX)	15mm以上	上部より設置	大気、不活性ガス雰囲気中	100mm	1.0mm	石英ガラス	市水2L/min	空冷式水冷循環装置 (OP)	アルミニウム合金	銀・ステンレス	W190XD190XH53	4.8
C-715 (レーザー三次元測定機用)	要見積もり	S-5-150L	-50℃⇔350℃	150mm	10mm (MAX)	15mm以上	上部より設置	大気、不活性ガス雰囲気中	150mm	1.0mm	石英ガラス	市水2L/min	空冷式水冷循環装置 (OP)	アルミニウム合金	銀・ステンレス	W250XD250XH53	6.5