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スロットルバタフライバルブ-スロットルバタフライバルブ
スロットルバタフライバルブ-MDC Precision

スロットルバタフライバルブ
MDC Precision



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この製品について

■商品説明

スロットルバタフライバルブは、真空システム内のガス流量とチャンバー圧力の精密な調整を可能にする可変コンダクタンス制御を提供します。NEMA23モーターとシームレスに統合できるように設計されており、加熱バルブ本体は均一な温度を維持し、結露や粒子の蓄積を最小限に抑えます。モジュール設計により、モーターのペアリングと制御システムの統合が簡素化されます。304 ステンレス鋼の内部構造とダブル O リング ステム シールを備え、半導体、ALD、薄膜処理などの要求の厳しい真空アプリケーションで、漏れのない信頼性と長期的なパフォーマンスを保証します。 主な機能と利点

■加熱操作

オプションの熱電対と位置インジケータを備えた統合カートリッジ ヒーターにより、正確な制御と監視が可能

■手動及び電動オプション

自動真空制御用の手動アルミハンドル又は 電動NEMA23アセンブリが含まれます

■高真空安定性

10^−5 ~ 10^−3Torrの動作範囲に最適化されており、スパッタリング、エッチング、蒸発プロセスに正確なスロットリングを提供します

  • シリーズ

    スロットルバタフライバルブ

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スロットルバタフライバルブ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) パーツ番号 フランジタイプ NOM SIZE NOM FLANGE フランジ外径 内径 厚さ
スロットルバタフライバルブ-品番-スロットルバタフライバルブ

スロットルバタフライバルブ

要見積もり

380010
380020
380030
380040
380050
380060
380070

ISO

1
1.5
2
2.5
3
4
6

NW25
NW40
NW50
NW63
NW80
NW100
NW160

39.88mm
54.86mm
74.93mm
95.00mm
109.98mm
165.1mm
225.04mm

22.35mm
33.27mm
47.50mm
60.20mm
72.90mm
98.30mm
148.08mm

31.75mm
42.67mm
37.34mm
35.56mm
25.40mm

この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: アメリカ
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