ビューポートシャッター
大和機器工業株式会社

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この製品について

■概要蒸着装置、スパッタリング、CVD装置等においては、しばしばビューポートに蒸着物が付着し、その機能を損なうことがあります。 本シャッターを用いることにより、高真空に影響を与えず、ビューポートを蒸着物より守ることができます。

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商品画像	品番	価格 (税抜)	接続フランジ	シャッター方式	使用圧力範囲	許容ベーキング温度	リーク量	質量
	VPS-070	要見積もり	ICF070	フラッパー	大気圧~10-8Pa	200℃	2×10-11Pa・m3/sec以下	0.8kg

会社概要

大和機器工業株式会社は、産業機器メーカーです。 1970年に設立された大和機器工業株式会社は、東京都西多摩郡に本社を構えています。主な事業内容は、産業機器の製造であり、直線導入機や回転導入機などの機器を取り扱っています...