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低圧スパッタガン-低圧スパッタガン
低圧スパッタガン-大和機器工業株式会社

低圧スパッタガン
大和機器工業株式会社



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この製品について

■概要

・【放電開始圧力】 ・0.023Torr近傍で点灯 (他社高性能gunと全く同時に点灯した) ・【放電持続圧力】~実験条件~ALターゲット、100W (RF) ・本装置は0.001Torrでも放電安定持続 ・ (一般的な装置ではこれ以下の圧力制御はできないので測定不可能) ・0.001Torrで5Wまで放電が持続した。0.003Torrでは3Wまで持続 ・一般的に高性能と定評のある他社製品では0.002Torrで限界 ・ (本圧力でも時々放電停止する) ・これらの結果から、本装置はコーティング膜質の向上ができる ・ (評価 NIMS (国立研究開発法人 物質・材料研究機構) 後藤氏による)

  • シリーズ

    低圧スパッタガン

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低圧スパッタガン 品番1件

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低圧スパッタガン

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

大和機器工業株式会社は、産業機器メーカーです。 1970年に設立された大和機器工業株式会社は、東京都西多摩郡に本社を構えています。主な事業内容は、産業機器の製造であり、直線導入機や回転導入機などの機器を取り扱っています...

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  • 本社所在地: 東京都
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