低圧スパッタガン
大和機器工業株式会社

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この製品について

■概要・【放電開始圧力】
・0.023Torr近傍で点灯 (他社高性能gunと全く同時に点灯した) 
・【放電持続圧力】～実験条件～ALターゲット、100W (RF) 
・本装置は0.001Torrでも放電安定持続
・ (一般的な装置ではこれ以下の圧力制御はできないので測定不可能) 
・0.001Torrで5Wまで放電が持続した。0.003Torrでは3Wまで持続
・一般的に高性能と定評のある他社製品では0.002Torrで限界
・ (本圧力でも時々放電停止する) 
・これらの結果から、本装置はコーティング膜質の向上ができる
・ (評価　NIMS (国立研究開発法人　物質・材料研究機構) 後藤氏による) 