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ラジカル絶対密度計測装置 ラジカルモニター Radimo-DP、SP-Radimo-DP、SP
ラジカル絶対密度計測装置 ラジカルモニター Radimo-DP、SP-株式会社片桐エンジニアリング

ラジカル絶対密度計測装置 ラジカルモニター Radimo-DP、SP
株式会社片桐エンジニアリング

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この製品について

◼︎概要 各種プラズマ技術を用いて行うエッチング・表面処理・薄膜作製プロセス時において、プラズマ中に生成され、これらプロセスに重要な役割を果す各種原子状ラジカルの絶対密度を計測し、プロセスへのフィードバックを可能としたモニタリング装置です。 ※水素、窒素、酸素の原子状ラジカルを真空紫外吸収分光法を用いてダイレクトに計測し、プロセスにフィードバック可能 ※ICF70フランジに取付可能 ※各種プラズマ装置に取付可能 (EBEP処理装置, CCPエッチング/CVD, Catプロセス/CVD, ICPエッチング/CVD等) ※真空排気系一体制御型モニタリングシステム等、システム構成はお客様のニーズに対応 ◼︎ラジカルモニターとは ラジカルモニターとはプラズマなどに存在する基底順位の原子状ラジカルを吸収分法により計測する装置です。計測用ソフトウェアは、名古屋大学堀研究室での研究成果にて校正された最新のものが搭載されています。 ◼︎特徴 ・小型、安価、取り扱い容易 ・各種ガスが使用可能 ・高い電子密度 (1,015個/cm3) ・大気圧下でプラズマ発生 ・微小スポットプラズマ ◼︎構成 ・ラジカルモニターヘッド ・制御電源 ・小型真空紫外分光器、波長帯域：115～170mm、波長分解能：0.8mm ・真空排気系 ・データ解析装置 ・ガス供給系

  • シリーズ

    ラジカル絶対密度計測装置 ラジカルモニター Radimo-DP、SP

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ラジカル絶対密度計測装置 ラジカルモニター Radimo-DP、SP 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ラジカル種 計測方式 検出限界 取付方式
ラジカル絶対密度計測装置 ラジカルモニター Radimo-DP、SP-品番-Radimo-DP、SP

Radimo-DP、SP

要見積もり

H、N、O

真空紫外吸収分光法

1×10^10個/cm3以上 (吸収長さによる)

ICF70フランジ (変換フランジ可能)

この商品の取り扱い会社情報

株式会社片桐エンジニアリング

  • 本社所在地: 神奈川県
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