グラッシーカーボン
東海ファインカーボン株式会社

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この製品について

■耐薬品性に優れたカーボン製品樹脂を焼成して熱処理したカーボン製品。高純度で耐薬品性に優れ、気体不透過などの特徴を持ち、半導体製造分野で使われています。

■特徴・軽い
・耐薬品性に優れる
・気体不透過である
・高純度
・発塵性がない
・脱ガスフリーである

■用途・基板ホルダー
・遮熱板
・サセプター
・ガイドリング
・エッチャー用電極
・洗浄用部材
・ダミーウェハー (〜400mm) 
・ガラス熱処理用部材
・ガラス成形部材
・ルツボ
・保護管他