SiCコートカーボン
東海ファインカーボン株式会社

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この製品について

■クリーン性能のファインカーボンファインカーボンの表面に、シリコンxカーボンをコーティングしたファインカーボンです。コーティングと超高純度素材により、不純物が問題となる半導体製造工程などで、黒鉛粉などの粉塵を出さないクリーンな性能で注目されています。

■特徴・急速局部加熱に強い
・物理衝撃に優れる
・耐薬品性に優れる
・超高純度
・微細加工形状にも均一にコーティングが可能
・酸化雰囲気でも使用できる

■用途・エピタキシャル用サセプター
・CVD用サセプター
・ヒーター
・単結晶引き上げ用部品他