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ソリッドSiC-Opaque
ソリッドSiC-東海ファインカーボン株式会社


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この製品について

■独自製法による超高純度CVD-SiC材料

SolidSiCとは、当社が独自の製法で工業化に成功した、超高純度CVD-SiC材料です。半導体製造部材を始めとして不純物汚染を嫌う用途に最も適した材料として期待されています。

■特徴

・超高純度 ・耐薬品性に優れる ・金属の拡散が圧倒的に少ない ・脱ガスフリーである ・理論密度である (β-SiC)

■用途

・ウェハーキャリア ・サセプター ・ダミーウェハー ・エッチャー部材他

  • シリーズ

    ソリッドSiC

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最新の閲覧: 13時間前


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ソリッドSiC 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 結晶構造 かさ密度g/cm3 固有抵抗Ωcm 曲げ強度MPa ヤング率GPa 透過率% 熱伝導率W/mK 比熱J/gK 熱膨張係数x10-6/K (rt-1000℃)
ソリッドSiC-品番-Opaque

Opaque

要見積もり

β-SiC

3.21

1x10-2~1x10-1

590

450

<0.1

250

0.67

4

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