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SiCウェハの製品7点中、注目ランキング上位5点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応サイズ | 多形 (Polytype) | 表面方位 | ドーパント | 抵抗率 | 厚み | TTV / LTV / Bow | 表面粗さ (Ra) | マイクロパイプ密度 | 結晶欠陥密度 | 表面処理 | エッジ処理 | 梱包仕様 |
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SiCウェハ |
要見積もり |
4インチ /6インチ / 8インチ |
4H (導電型 / 半絶縁型) |
<0001> / オフ角4°±0.5° |
N型/ 半絶縁型 (HPSI) |
両0.015~0.025 Ω |
500 ±25 μm |
TTV ≤10μm / Bow ±25μm (typ.) |
≤0.2 nm (Si面CMP) |
≤1~2個/cm² (HPSI) |
TSD ≤500 / BPD ≤2,000 / TED ≤7,000 ea/cm² |
Si面CMP / C面ポリッシュ |
面取り加工 (Chamfer) |
窒素充填+真空包装、マルチカセット |