全てのカテゴリ

閲覧履歴

窒化アルミニウム部品-窒化アルミニウム部品
窒化アルミニウム部品-松尾産業株式会社

窒化アルミニウム部品
松尾産業株式会社



無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■概要

半導体製造装置 (前工程用) は、デザインルール微細化とウェーハ大口径化 (300mmφ以上) への対応が求められています。それには、装置を構成する部品の材料の選定が極めて重要となります。 窒化アルミニウム (AlN) は、熱伝導性・熱放射性 (放熱) 、耐熱衝撃性、電気絶縁性に優れ、Siウェーハにマッチした熱膨張をもつ、特性のバランスの良い材料です。

■特長

・外形寸法最大φ550mmまで製造可能 ・熱伝導・熱放射率が大きく、均熱性が高い ・熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える ・Siにマッチした低熱膨張 ・フッ素系ガス耐食性に優れる

■用途

・エッチングなどサセプター各種、 半導体製造装置用CVD、 静電チャック、ヒーター均熱板 ・真空チャック、 ダミーウエハー、ターゲット、化合物半導体製造装置用部品 他

■仕様

・熱伝導率 (W/m・K (RT) ) :90 (FAN-90) /170 (FAN-170) /200 (FAN-200) ・熱放射率 (100℃) :0.93 ・熱膨張係数 (10-6/℃ (RT~400℃) ) :4.5 ・耐熱衝撃 (ΔT (水中落下) ) :400 (文献値) ・絶縁抵抗 (Ω・cm (RT) ) :>1013 ・絶縁耐圧 (kV/mm (RT) ) :15 ・誘電率 (1MHz) :8.8 ・誘電損失 (10-4 (1MHz) ) :5 ・曲げ強度 (MPa) :250-300 (FAN-90) /300-400 ・密度 (g/cm3) :3.2 (FAN-90) /3.3 ・Y (イットリウム) (wt%) :0.0 (FAN-90) /3.4 ・O (酸素) (%) :0.6 (FAN-90) /1.7

  • シリーズ

    窒化アルミニウム部品

この製品を共有する


最新の閲覧: 1時間前


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません


窒化アルミニウム注目ランキング

もっと見る

窒化アルミニウムの製品23点中、注目ランキング上位6点

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

窒化アルミニウム注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています


窒化アルミニウム部品 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
窒化アルミニウム部品-品番-窒化アルミニウム部品

窒化アルミニウム部品

要見積もり

この商品を見た方はこちらもチェックしています

窒化アルミニウムをもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

Copyright © 2025 Metoree