300mmウェハ対応汎用触針式プロファイリングシステム Dektak XTL-Dektak XT

300mmウェハ対応汎用触針式プロファイリングシステム Dektak XTL
ブルカージャパン株式会社

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この製品について

最大300 mmの性能を備えたゲージ対応QA/QC向けプロファイラー

■大型ステージ対応 触針式プロファイリングシステムDektak XTL

12インチウエハ、 350mmx350mmの基板サイズにフルアクセス可能な、半導体＆大型試料対応の触針式プロファイリングシステムです。オールインワン設計のスタイラスセンサーヘッドはヘッド交換なしで、ロングレンジスキャンと低触圧測定モードを同時に実現することができます。また、シングルアーチ型設計と最新のプロセッサーにより、5Åと比類ない測定再現性を実現します。さらに、Windows7 64Bit対応Visionソフトウエアが、パワフルで直感的オペレーションを提供します。