グラファイト製特殊品ポリシリコン製造高温断熱材
メルセン・エフエムエー株式会社

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この製品について

■シリコン生産プロセスにおける高温断熱材ポリシリコン業界では、新しい要件を満たし、コストを低減することが求められています。

Mersen社の広範な製品ラインナップは、以下の目標を達成することを目的としています。

・高純度ポリシリコン9Nを基準として保証し、近い将来に純度10Nを達成する。
・持続可能な機器の使用により、メンテナンスコストを低減する。
・プロセスのエネルギーコストを低減する。

■当社は、ポリシリコン製造業界専用の消耗品および機器をご提案します・超高純度グラファイト電極
・超高純度および複合グラファイトヒーター
・大型、超高純度複合材およびグラファイトシリンダ
・精製硬質炭素および可撓フェルト断熱材

■変換器：高温水素添加によるSTC再生利用反応器 (SiCl4) 蒸着プロセスでは、大部分のガスがSTC (SiCl4) へと変わります。収率を上げるには、このSTCをTCSとして高温水素添加反応器にて1,500℃の温度で再生利用しなければなりません。

Mersen社は、その格別に高い競争性および包括的な提案から、本市場でリーダーとして認められています。

・最大直径1.5mの超高純度グラファイトシリンダ
・特殊コーティングにより寿命が向上
・高性能精製硬質炭素を原料とする断熱材
・C/Cコンポジット材ヒーターおよびプレート

■流動層反応器反応器の水晶室の内部では、微細なシリコン粒子がシランの対向流に放出されます。反応器およびガス注入口はグラファイトヒーターで加熱され、硬質フェルトで断熱されます。シランはシリコンに分解され、微細粒子を膨張させます。純ケイ素は、ビード状で回収されます。

■Siemensプロセス蒸着反応器水晶反応容器には、精製グラファイト電極上に取り付けられた非常に薄いU型シリコンロッドが含まれています。シリコンロッドは、グラファイト電極の供給する電流によって加熱されます。ガス状トリクロロシランSiHCl3 (TCS) は、高温で堆積室に入り込んで分解し、純ケイ素を高温のロッド上に蒸着させます。

蒸着プロセスが完了すると、シリコンロッドは反応器から取り外され、ポリシリコンを回収するために粉砕されます。

Mersen社では、このプロセスの消耗品として用いられる超高純度グラファイト電極をご提供しています。