グラファイト製特殊品シリコンウェハ製造 CZプーラおよびDSS炉向け高純度グラファイト-CZプーラおよびDSS炉向け高純度グラファイト

グラファイト製特殊品シリコンウェハ製造 CZプーラおよびDSS炉向け高純度グラファイト
メルセン・エフエムエー株式会社

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この製品について

■概要CZプーラおよびDSS炉向け高純度グラファイト。Mersen社は、ウェーハの純度および結晶化時の高温域の制御を保証する、持続可能で効率の良いソリューションをご提供します。

■Mersen社では、本業界における制約に特化した機器および部品もご提供しています。・精製グラファイトるつぼ
・精製グラファイトヒーター
・グラファイトまたは炭素‐炭素複合材円筒形熱保護
・結晶成長の温度勾配を制御するための可撓フェルトおよび硬質炭素断熱材
・炭素‐炭素複合材ねじ部品
・グラファイト熱交換器

■方向性凝固システム (DSS) ：溶融シリコンの溶液槽の冷却は、結晶化領域が非常に広いインゴットの固化が行われるよう制御されています。これらのインゴットはその後線鋸で薄く切られ、太陽光産業で主に用いられるシリコン「ウェーハ」が作られます。Mersen社は、次の部材をご提供しています。

・精製グラファイト加熱素子
・高温領域硬質炭素断熱材
・複合材固定具
 ・複合材プレート
・グラファイト熱交換器

■単結晶成長プロセス (チョクラルスキー法－CZ) ：1,425℃より高い温度でのこのシリコン結晶化法は、オーブン内での温度勾配を非常に精密に制御することができることから、大型円筒形単結晶インゴットの製造に用いられます。これらのインゴットは線鋸で薄く切られ、マイクロエレクトロニクスおよび太陽光発電産業で用いられるシリコン「ウェーハ」が作られます。Mersen社は次の部材をご提供しています。

・精製グラファイトるつぼ
・精製グラファイト加熱素子
・高温域硬質断熱材
・グラファイトおよび炭素‐炭素複合材遮熱材
・炉断熱