プラズマ発生用電源・自動整合器マイクロ波製品
株式会社ダイヘン

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この製品について

パルス出力機能付マイクロ波電源

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フィルター

	商品画像	品番	価格 (税抜)	定格出力 1/1.5kW/3kW	出力安定度 1/1.5kW:±0.5%以内 3kW:±1%以内	パルス周波数 1/1.5kW:100Hz - 2kHz (1レベル)	外形寸法幅 (W) 1/1.5kW:420mm 3kW:480mm	外形寸法高さ (H) 1/1.5kW:170mm 3kW:199mm	外形寸法奥行き (L) 1/1.5kW:530mm 3kW:580mm	周波数範囲 2460±30MHz	許容通過電力 3kW 連続波 (パワーリップル10%以下)	整合精度 1%以内 (電力比)	整合速度 2秒以内	冷却方式水冷
		2.45GHzマイクロ波電源	要見積もり	1/1.5kW/3kW	1/1.5kW:±0.5%以内 3kW:±1%以内	1/1.5kW:100Hz - 2kHz (1レベル)	1/1.5kW:420mm 3kW:480mm	1/1.5kW:170mm 3kW:199mm	1/1.5kW:530mm 3kW:580mm	-	-	-	-	-
		2.45GHz自動整合器	要見積もり	-	-	-	-	-	-	2460±30MHz	3kW 連続波 (パワーリップル10%以下)	1%以内 (電力比)	2秒以内	水冷