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硬質膜形成装置 アークフィラメント型 イオンプレーティング装置-アークフィラメント型 イオンプレーティング装置
硬質膜形成装置 アークフィラメント型 イオンプレーティング装置-神港精機株式会社

硬質膜形成装置 アークフィラメント型 イオンプレーティング装置
神港精機株式会社

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この製品について

従来CVDでしか実用化出来なかった膜種 (厚膜酸化膜・炭化膜等) をPVDによって実現した新方式のイオンプレーティング装置です。 「アークフィラメント型イオンプレーティング装置」は蒸発源上での蒸発粒子と熱電子との衝突によって蒸発絵粒子のイオン化を効率的に行います。 さらに導入ガスとイオン化した蒸発粒子の反応によって緻密で密着力の強い各種反応膜 (窒化膜・酸化膜・炭化膜・炭窒化膜) が形成できます。 従来型の「アーク放電型イオンプレーティング装置」では困難だった酸化膜の厚膜形成も行えるようになりました。 アークフィラメント型イオンプレーティング装置だから形成できる新たなPVD膜は精密金型や半導体製造装置部品など多くの用途への展開が期待されています。 アークフィラメント型 イオンプレーティング装置 (AF-IP装置) 対応膜種 酸化膜：イットリア (Y203) ※新開発膜 酸化膜：アルミナ (AI203) ※新開発膜 炭化膜：SiC ※新開発膜 窒化膜：TiN 窒化膜：CrN その他各種金属及び反応膜

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    硬質膜形成装置 アークフィラメント型 イオンプレーティング装置

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硬質膜形成装置 アークフィラメント型 イオンプレーティング装置 品番1件

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アークフィラメント型 イオンプレーティング装置

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神港精機株式会社

会社概要

神港精機株式会社は1949年に設立した、真空ポンプ・真空装置を中心にアセンブリ装置・光学検査装置を製造するメーカーです。 技術開発型の企業として、「真空技術」を応用した製造装置及びコンポーネントを主軸とした「モノづくり...

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  • 本社所在地: 兵庫県
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