プラズマ クリーニング装置 POEM
神港精機株式会社
この製品について
平行平板型RIE方式のプラズマを利用した、基板表面のクリーニング・還元・酸化等の処理を可能としたプラズマ表面処理装置です。
処理モードや処理ガスを変える事により、幅広い用途に対応しています。
基板サイズに合わせ 450×450mm 大型基板対応装置と、250×250mm の小型基板対応装置の２機種を用意しています。
製品の特徴
・コンパクトな筐体で 8インチ以上の大面積処理が可能
・実装前の親水処理や有機物・酸化膜除去に威力を発揮
・樹脂基板の表面処理にも最適
・処理効率の良いハードモードと、基板へのダメージを配慮したソフトモードを選択可能
表面処理のメカニズム
・イオンの化学反応力を利用し、有機系の汚れ除去に最適
・イオンのスパッタ力を利用し、表面の汚れを物理的に除去
・酸素イオンを利用し、基板 (金属) 表面を均一に酸化処理
・水素イオンを利用し、基板 (金属) 表面酸化膜を除去
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シリーズ
プラズマ クリーニング装置 POEM
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取扱企業
神港精機株式会社
プラズマ クリーニング装置 POEM 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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プラズマ クリーニング装置 POEM |
要見積もり |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
