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プラズマ クリーニング装置 POEM-プラズマ クリーニング装置 POEM
プラズマ クリーニング装置 POEM-神港精機株式会社

プラズマ クリーニング装置 POEM
神港精機株式会社

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この製品について

平行平板型RIE方式のプラズマを利用した、基板表面のクリーニング・還元・酸化等の処理を可能としたプラズマ表面処理装置です。 処理モードや処理ガスを変える事により、幅広い用途に対応しています。 基板サイズに合わせ 450×450mm 大型基板対応装置と、250×250mm の小型基板対応装置の２機種を用意しています。 製品の特徴 ・コンパクトな筐体で 8インチ以上の大面積処理が可能 ・実装前の親水処理や有機物・酸化膜除去に威力を発揮 ・樹脂基板の表面処理にも最適 ・処理効率の良いハードモードと、基板へのダメージを配慮したソフトモードを選択可能 表面処理のメカニズム ・イオンの化学反応力を利用し、有機系の汚れ除去に最適 ・イオンのスパッタ力を利用し、表面の汚れを物理的に除去 ・酸素イオンを利用し、基板 (金属) 表面を均一に酸化処理 ・水素イオンを利用し、基板 (金属) 表面酸化膜を除去

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    プラズマ クリーニング装置 POEM

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プラズマ クリーニング装置 POEM 品番1件

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プラズマ クリーニング装置 POEM

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この商品の取り扱い会社情報

神港精機株式会社

会社概要

神港精機株式会社は1949年に設立した、真空ポンプ・真空装置を中心にアセンブリ装置・光学検査装置を製造するメーカーです。 技術開発型の企業として、「真空技術」を応用した製造装置及びコンポーネントを主軸とした「モノづくり...

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