プラズマクリーニング装置 POEM
神港精機株式会社

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この製品について

平行平板型RIE方式のプラズマを利用した、基板表面のクリーニング・還元・酸化等の処理を可能としたプラズマ表面処理装置です。

処理モードや処理ガスを変える事により、幅広い用途に対応しています。
基板サイズに合わせ 450×450mm 大型基板対応装置と、250×250mm の小型基板対応装置の２機種を用意しています。

製品の特徴
・コンパクトな筐体で 8インチ以上の大面積処理が可能
・実装前の親水処理や有機物・酸化膜除去に威力を発揮
・樹脂基板の表面処理にも最適
・処理効率の良いハードモードと、基板へのダメージを配慮したソフトモードを選択可能

表面処理のメカニズム
・イオンの化学反応力を利用し、有機系の汚れ除去に最適
・イオンのスパッタ力を利用し、表面の汚れを物理的に除去
・酸素イオンを利用し、基板 (金属) 表面を均一に酸化処理
・水素イオンを利用し、基板 (金属) 表面酸化膜を除去