熱電対 (T/C) 付ウエハウエハ面内温度分布測定ツール
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この製品について

歩留まり改善 温度制御の最適化 膜厚分布の均一化
■プロセス中の温度分布を把握正確なウエハ温度の把握は、歩留まり改善のための重要な要素です。実際にウエハにかかる温度分布特性を知ることでプロセス温度制御の最適化、膜厚分布均一性の向上に貢献します。

■温度データの高信頼性ウエハ表面に溝加工を施し、そこに耐熱・高強度接着剤で熱電対を埋め込みます。接着材質量を最小限に留め、ウエハとの材質特性の違いを低減しています。また独自の埋込み加工技術により、温接点のバラつきを低減し、読み込み温度の高い信頼性を実現しています。

クラス.1熱電対を使用 測温データ (成績書) 添付
■高精度熱電対を使用ウエハに埋め込まれた高精度熱電対 (T/C) は、ヒーターやチャンバーから受ける温度変化・温度分布をリアルタイムにロガーに伝達し、プロセス中の温度特性を正確にモニタすることができます。

■熱電対の品質管理使用する熱電対は全て埋め込み前に精度テスト・抵抗値測定を実施し、T/C間の固体差を最小限に抑えています。

■多様な配線方法に対応・真空機器のシール面などに挟み込み、真空状態を保った状態での配線が可能です。 (ポリミドフィードスルー) 
・熱電対専用ハーメチックポート、ワンタッチ着脱式真空側プラグの製作も1個より対応可能です。

真空プラグ ハーメチックコネクタ 大気側プラグ
■ハーメチックポートハーメチックポートの使用は、気密性を保ち真空到達度を落とさずに測定が可能となるため、測定データの再現性・信頼性がさらに向上します。既設装置の作業性や用途に合わせて1個から設計・製作可能です。

■マッピングソフト既存のデータロガーで測定したCSVファイルデータをマッピングソフト (オプション) で読み込む事でより細かく可視化出来ます。色表示・線グラフ表示・数値表示など、用意にカスタマイズ可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
熱電対 (T/C) 付ウエハウエハ面内温度分布測定ツール

取扱企業
株式会社ミヤビインターナショナル

カテゴリ

メーター・計測機器

温度計

センサー

温度センサー

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2025年9月4日にレビュー済み

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熱電対 (T/C) 付ウエハウエハ面内温度分布測定ツール品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	ウエハ	熱電対	測定点数	熱電対の被覆	フィードスルー (挟み込み部)	コネクタ	アプリケーション
	K型 (標準)	要見積もり	サイズ 2~12インチ (角型ガラス基板等も対応可) 種類ベアシリコン (標準) 、その他膜付など特殊仕様はユーザー支給品にて対応	読込精度：±0.4%以下、素線径0.125mm	1~48点埋め込み位置は任意でご指定頂けます。 (但し、ウエハエッジからの最小距離：5mm以上必要)	(~200℃) テフロン (~800℃) シリカヤーンスリーブ / アルミナ長繊維 (~1,000℃) マイクロクオーツチューブ (断続使用：~1,100℃)	ポリミド (厚み0.01mm + 素線0.125mm) ※チャンバーにT/C導入ポート等が無い場合に使用	各種対応可2ピンミニチュアコネクタ、Y型端子、D-subコネクタ、セラミックコネクタ、熱電対素線のみ、など専用ハーメチックポート及び特型プラグの製作も可能です。	CVD装置、PVD装置、アニール装置、エッチング装置、研究開発用加熱装置など