ガス精製器 OMNI Point-of-Use Gas Purifier Systems-OMNI

ガス精製器 OMNI Point-of-Use Gas Purifier Systems
株式会社エムアイディ

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この製品について

■概要Omniシリーズのポイント オブ ユースガス精製システムは、ヒーター、断熱材および電子機器 (温度制御) が一体となったガス精製器です。Ultra Pure PF/XLシリーズの精製器 (フィルター) が内蔵されており、不活性ガス、水素、水素化合物、酸性ガス、酸素などから、Sub-ppbレベルまでガス不純物を低減することができます。PFシリーズには、0.003μmのフィルター内蔵されています。

■分野分析器 (ゼロ/校正ガス) 、ガス分析カート、プロセス装置、研究開発、半導体産業など