ガス精製器 THE ELIMINATOR® CAG-THE ELIMINATOR® CAG

ガス精製器 THE ELIMINATOR® CAG
株式会社エムアイディ

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この製品について

■概要NuPure Eliminator CAGガス精製器は、特許取得済みのCAG ( Catalyst/Absorber/Getter ) 精製技術を採用しており、精製性能が大幅に改善されています。この結果、アウトレット純度0.5ppb未満レベルの精製性能を実現しています。また室温での操作で優れた性能を発揮します。CAG精製器は、液体源から不活性ガスを精製するのに効果的です。

■分野APIMSゼロ点校正、半導体産業、半導体プロセス装置、ガスシリンダーキャビネット、ガス分析カート、分析業界、研究開発など