ビューポートシャッター
AOV株式会社

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この製品について

■製品説明本製品は、真空成膜プロセスにおいてビューポートに対する成膜や有機ガスによるダメージを防止するための専用シャッターです。観察を行わない際にはシャッターを閉じることで、ビューポートへの堆積やガス曝露を防ぎます。これにより、ビューポートのクリーニングや交換の頻度を大幅に低減し、保守コストの削減と装置の稼働率向上に貢献します。

■特徴・接続フランジはICF規格に準拠しており、超高真空環境での使用が可能です。
・最大200℃までのベーキングに対応し、幅広いプロセス条件に適応します。
・シャッターの開閉には、マグネットカップリング式およびベローズ式の回転導入機をラインアップ。用途に応じた最適な選択が可能です。

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
ビューポートシャッター

取扱企業
AOV株式会社

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ビューポートシャッター品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	メーカー	接続フランジ ICF114 ICF152	回転導入機マグネットカップリング式ベローズ式	開口面積約15cm2 約24cm2 約39cm2	閉時状態完全密閉若干の開口部あり
VS114-M (TypeA)	要見積もり	AOV	ICF114	マグネットカップリング式	約15cm2	完全密閉
VS114-B (TypeA)	要見積もり	AOV	ICF114	ベローズ式	約15cm2	完全密閉
VS114-B (TypeB)	要見積もり	AOV	ICF114	ベローズ式	約24cm2	若干の開口部あり
VS152-M(TypeA)	要見積もり	AOV	ICF152	マグネットカップリング式	約39cm2	完全密閉

この商品の取り扱い会社情報

AOV株式会社

本社所在地: 神奈川県

ビューポートシャッター AOV株式会社

この製品について

■製品説明

■特徴

ビューポートシャッター 品番4件

VS114-M (TypeA)

VS114-B (TypeA)

VS114-B (TypeB)

VS152-M(TypeA)

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ビューポートシャッター
AOV株式会社

ビューポートシャッター品番4件