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ビューポートシャッター-VS114-M (TypeA)
ビューポートシャッター-VS114-B (TypeA)
ビューポートシャッター-VS114-B (TypeB)
ビューポートシャッター-VS152-M(TypeA)
ビューポートシャッター-AOV株式会社

ビューポートシャッター
AOV株式会社



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この製品について

■製品説明

本製品は、真空成膜プロセスにおいてビューポートに対する成膜や有機ガスによるダメージを防止するための専用シャッターです。観察を行わない際にはシャッターを閉じることで、ビューポートへの堆積やガス曝露を防ぎます。これにより、ビューポートのクリーニングや交換の頻度を大幅に低減し、保守コストの削減と装置の稼働率向上に貢献します。

■特徴

・接続フランジはICF規格に準拠しており、超高真空環境での使用が可能です。 ・最大200℃までのベーキングに対応し、幅広いプロセス条件に適応します。 ・シャッターの開閉には、マグネットカップリング式およびベローズ式の回転導入機をラインアップ。用途に応じた最適な選択が可能です。

  • シリーズ

    ビューポートシャッター

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ビューポートシャッター 品番4件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) メーカー
ビューポートシャッター-品番-VS114-M (TypeA)

VS114-M (TypeA)

要見積もり

AOV

ICF114

マグネットカップリング式

約15cm2

完全密閉

ビューポートシャッター-品番-VS114-B (TypeA)

VS114-B (TypeA)

要見積もり

AOV

ICF114

ベローズ式

約15cm2

完全密閉

ビューポートシャッター-品番-VS114-B (TypeB)

VS114-B (TypeB)

要見積もり

AOV

ICF114

ベローズ式

約24cm2

若干の開口部あり

ビューポートシャッター-品番-VS152-M(TypeA)

VS152-M(TypeA)

要見積もり

AOV

ICF152

マグネットカップリング式

約39cm2

完全密閉

この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 神奈川県
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