XYテーブル機構
入江工研株式会社

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この製品について

■マルチ導入機シリーズマルチ動作導入機とは、直進＋回転または軸直角＋角度など一方向以上の動作を真空内で行うための製品です。特に当社製品であるMFLシリーズとTSL/TSNシリーズの組み合わせは様々な分野 (半導体製造装置・加速器関連施設等) で御使用頂いております。

入江工研のマルチ動作導入機はベローズシール式とマグネットシール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品を提案致します。

■XY テーブル機構 (TSL/TSN) シャッター及び高度な位置決め技術で高品質なXYテーブルをご提供します。

■特徴・ベローズ式シール機構を採用しております。入江工研製の成形ベローズを使用。
・弊社磁気結合式直進回転導入機 (MFL-70) の位置決め用に最適です。
・簡易タイプですので、非常に安価です。
・片側 : CF70タップフランジ (オプション : CF114タップフランジ) 。片側 : CF70、CF114、CF152のチャンバー等に合わせてお選び頂くことが出来ます。
・XY方向調整のみ (TSL) 、角度調整機構付き (TSN) の2種類の機構をご用意しております。