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磁気結合直進回転導入機-MFL-70
磁気結合直進回転導入機-入江工研株式会社

磁気結合直進回転導入機
入江工研株式会社



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この製品について

■マルチ導入機シリーズ

マルチ動作導入機とは、直進+回転または軸直角+角度など一方向以上の動作を真空内で行うための製品です。特に当社製品であるMFLシリーズとTSL/TSNシリーズの組み合わせは様々な分野 (半導体製造装置・加速器関連施設等) で御使用頂いております。 入江工研のマルチ動作導入機はベローズシール式とマグネットシール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品を提案致します。

■ベローズ式直進導入機 手動タイプ (ILD-M)

・真空内外ともにサマリウム-コバルト磁石を使用しているため、高トルクが伝達でき、ロストモーションも少なく設計しております。 ・真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止しており、ガス放出量を低減しています。 ・磁石を取り付けたままベーキングができます。 ・ベアリングを交換することで、半永久的に使用できます。 ・オプションで回転防止機構もご用意しております。

  • シリーズ

    磁気結合直進回転導入機

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磁気結合直進回転導入機 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ストローク 接続フランジ 駆動方式 使用圧力範囲 伝達荷重 トルク ヘリウムリーク量 ベーキング温度
磁気結合直進回転導入機-品番-MFL-70

MFL-70

要見積もり

回転 : 360°
直進 : 500、800、1,000mm

CF70FH

手動

高真空 ~ 大気圧

196N

1.47N・m

1.0 × 10^-9Pa・m3/s

120℃以下

この商品の取り扱い会社情報

会社概要

入江工研株式会社は、半導体製造装置用各種真空ベローズや、真空バルブなど、真空装置付属機器を製造しているメーカーです。

1966年の会社設立当初は空調用伸縮継手の他に、鉄道関係のベローズなどを製作していま...

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  • 本社所在地: 東京都
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