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ベローズ式シールシャッター-RCS-70
ベローズ式シールシャッター-入江工研株式会社

ベローズ式シールシャッター
入江工研株式会社



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この製品について

■回転導入機シリーズ

回転導入機とは、大気側から真空中にある機材・機器を真空状態を保持したまま回転させるための製品です。基板等を回転させたり、シャッターなどの切替に御使用頂いております。入江工研の回転導入機はベローズシール式とマグネットシール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品を提案致します。

■ベローズ式シールシャッター (RCS)

・ベローズ式回転導入機IRC34を使用した信頼・実績のある機構を採用。高真空領域まで使用可能です。 ・バタフライ式で尚且つシャッター折り曲げ式機構の為、視界が広範囲になっています。 ・回転ロック機構付き。開度が任意に設定可能です。 ・両端コンフラットフランジ (両刃) の為、配管途中に取付可能となります。

  • シリーズ

    ベローズ式シールシャッター

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ベローズ式シールシャッター 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 作動範囲 接続フランジ 駆動方式 使用圧力範囲 ヘリウムリーク量 ベーキング温度
ベローズ式シールシャッター-品番-RCS-70

RCS-70

要見積もり

90° (シャッター部開口作動範囲)

両面CF70

手動

高真空 ~ 大気圧

1.0 × 10^-9Pa・m3/s

120℃以下

この商品の取り扱い会社情報

会社概要

入江工研株式会社は、半導体製造装置用各種真空ベローズや、真空バルブなど、真空装置付属機器を製造しているメーカーです。

1966年の会社設立当初は空調用伸縮継手の他に、鉄道関係のベローズなどを製作していま...

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  • 本社所在地: 東京都
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