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磁気結合式回転導入機
入江工研株式会社

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この製品について

■回転導入機シリーズ

回転導入機とは、大気側から真空中にある機材・機器を真空状態を保持したまま回転させるための製品です。基板等を回転させたり、シャッターなどの切替に御使用頂いております。入江工研の回転導入機はベローズシール式とマグネットシール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品を提案致します。

■磁気結合式回転導入機 (MFR)

・真空内外ともにサマリウム-コバルト磁石を使用しているため、高トルクが伝達でき、ロストモーションも少なく設計しております。 ・真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止しており、ガス放出量を低減しています。 ・磁石を取り付けたままベーキングができます。 ・ベアリングを交換することで、半永久的に使用できます。 ・オプションのモーター取付金具仕様にした場合、自動運転が可能です。

  • シリーズ

    磁気結合式回転導入機

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磁気結合式回転導入機 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ストローク 接続フランジ 駆動方式 使用圧力範囲 位置検出 伝達トルク 回転速度 ヘリウムリーク量 ベーキング温度

MRF-34

要見積もり

360°連続回転

CF34FH

手動 (モーター駆動可)

高真空 ~ 大気圧

目盛 (単位 : 15°)

0.29N・m

500RPM

1.0 × 10^-10Pa・m3/s

120℃以下

この商品の取り扱い会社情報

入江工研株式会社

会社概要

入江工研株式会社は、半導体製造装置用各種真空ベローズや、真空バルブなど、真空装置付属機器を製造しているメーカーです。

1966年の会社設立当初は空調用伸縮継手の他に、鉄道関係のベローズなどを製作していま...

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  • 本社所在地: 東京都
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