直進導入機シリーズベローズ式コンパクト直進導入機
入江工研株式会社

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この製品について

■直進導入機シリーズ直進導入機とは、大気側から真空中にある機材・機器を真空状態を保持したまま直進させるための製品です。基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送等に御使用頂いております。入江工研の直進導入機はベローズシール式とマグネットシール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品を提案致します。

■ベローズ式コンパクト直進導入機 (ILC) ・入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、ストロークを30 ~ 200mmまで規格化しました。
・駆動部シールに溶接ベローズを採用しておりますので、超高真空の領域で使用可能です。
・機能中心に考え極めてシンプルに構成していますので、小型、軽量になっています。
・ベーキング温度250℃に耐える設計にしております。