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直進導入機シリーズ ベローズ式直進導入機 自動タイプ
入江工研株式会社

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この製品について

■直進導入機シリーズ

直進導入機とは、大気側から真空中にある機材・機器を真空状態を保持したまま直進させるための製品です。基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送等に御使用頂いております。入江工研の直進導入機はベローズシール式とマグネットシール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品を提案致します。

■ベローズ式直進導入機 自動タイプ (ILD-A)

・駆動部シールに入江工研製の溶接ベローズを採用しておりますので、超高真空の領域で使用可能です。 ・ストローク100mm、150mmを各サイズ (CF70、114、152、203) ラインナップ致しました。 ・モーターはリバーシブルモーターを標準採用。 (ステッピングモーター等は別途御相談下さい。) ・リミットスイッチを標準で装備。位置検出はポテンショメーターをオプションでご用意しております。

  • シリーズ

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直進導入機シリーズ ベローズ式直進導入機 自動タイプ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ストローク 接続フランジ 駆動方式 使用圧力範囲 位置検出 伝達荷重 ヘリウムリーク量

ILD-70A100

要見積もり

100mm

CF70FH

モーター駆動 (リバーシブルモーター) AC100V

超高真空 ~ 大気圧

リミットスイッチ、ボテンショメーター (オプション)

496N

1.0 × 10^-9Pa・m3/s

この商品の取り扱い会社情報

入江工研株式会社

会社概要

入江工研株式会社は、半導体製造装置用各種真空ベローズや、真空バルブなど、真空装置付属機器を製造しているメーカーです。

1966年の会社設立当初は空調用伸縮継手の他に、鉄道関係のベローズなどを製作していま...

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  • 本社所在地: 東京都
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