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流体制御機器 圧力制御器 AP250-AP250
流体制御機器 圧力制御器 AP250-株式会社エー・シー・イー

流体制御機器 圧力制御器 AP250
株式会社エー・シー・イー

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この製品について

■概要

AP250とAP500は半導体製造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に適した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部 (AP100Nと同等品) とドーム式レギュレータ部から構成されています。 さらに外部には圧力センサを取り付け、そのセンサからの信号を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの内部圧力を調整し、外郭圧力が任意の設定圧力値と一致するように自動制御します。 また、流量センサを外部に取付けることにより、流量コントローラとして使用することも可能です。 最大制御流量はAP250が5001/分、AP500が2000L/分で、最大制御圧力は両タイプとも600kPa程度です。 圧力継手はAP250が1/2"VCR、AP500は3/4"SWAG相当品または3／4"VCR相当品に対応しています。真空中での使用なら相当品導体用クリーンガス、不活性ガス、腐食性ガス、危険ガス等全てのガスに対応可能です。

  • シリーズ

    流体制御機器 圧力制御器 AP250

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流体制御機器 圧力制御器 AP250 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 主な用途 対象ガス 入口圧力 耐圧 圧力設定 制御方式 制御圧力 最大流量 応答時間 入力信号 外部センサ入力 出力信号 継手 シートリーク 精度 電源電圧 消費電流 使用温度 面間外形寸法 圧力センサ 表示設定器
流体制御機器 圧力制御器 AP250-品番-AP250

AP250

要見積もり

FPD、燃料電池用

N2、空気、H2等

999kPa以下

1,500kPa未満

表示設定器で設定

ドーム内空圧制御

0~500kPa

500L/分

設定値到達まで1秒

0~5VDC Cont/Close
RS485

(4~20mA 標準)

アラーム出力、RS485

1/2インチVCR相当品または1/2インチスウェジロック相当品

10-5Pa・m3/秒以下

圧力センサ仕様による

24VDC±10％

200mA Max．

0~50℃結露なきこと

W70×D145×H124mm

無し (外部)

有り (分離設置可)

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使用用途

#油圧制御 #空気圧制御 #蒸気圧調整 #水圧制御 #ガス圧調整 #化学薬品制御 #医療機器制御 #半導体製造

制御機能

減圧弁 安全弁 リリーフ弁 バックプレッシャ弁 定圧弁

構造形式

ピストン式 ダイヤフラム式 スプリングバランス式 ベローズ式

作動方式

手動式 電動式 空圧式 油圧式

制御方式

開閉二位置式 比例制御式 サーボ制御式

最高使用圧力 MPa

0 - 20 20 - 30 30 - 40

最大流量 L/min

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500

質量 kg

0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 500

最高使用温度 ℃

0 - 50 50 - 60 60 - 70 70 - 100 100 - 200

圧力調整方法

固定 調整ネジ 調整ハンドル

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