パーティクル対策の新提案静電吸着式パーティクルコレクター-静電吸着式パーティクルコレクター

パーティクル対策の新提案静電吸着式パーティクルコレクター
株式会社クリエイティブテクノロジー

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この製品について

「パーティクル」とは、塵・ホコリ・ダストなどの異物の総称です。製品の外観品質や性能、寿命等さまざまな面で悪影響を与えるため、ものづくりの現場では天敵とみなされています。

半導体分野においては、パソコンやタブレット、スマートホンといった電子機器の小型化・高機能化にともない、半導体デバイスもより小さく高品質なものが要求される時代になりました。当然、デバイスの性能を決める回路も微細化が進むため、従来では問題視されていなかった「数nm (ナノメートル) 」レベルのパーティクルも近年では大きな問題になっています。また、半導体分野に限らず多くのものづくりの現場では、ファクトリーオートメーションが加速する中、「不良率の低減」や「生産効率の改善」がテーマに掲げられています。

私たちクリエイティブテクノロジーが提案する「静電吸着式パーティクルコレクター」は、半導体分野で長年培ってきた「静電チャック」の技術を応用しパーティクル対策に特化させた、空間内のパーティクルを捕捉するツールです。

パーティクル対策の新スタンダードとして、業界を問わず多くの企業で導入が進められています。生産ラインに大掛かりな変更を加えることなく、オプションツールでパーティクル対策を進めたい。大気環境下だけではなく、クリーンルーム内や真空環境下でもパーティクル対策を進めたい。製品へのパーティクル付着を防止し、製造工程における不良率の低減や生産効率の改善を目指したい。