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システム フローコントロールシステム (FCS®) オートプレッシャーコントローラ (自動圧力制御器) UPCシリーズ-UPCシリーズ
システム フローコントロールシステム (FCS®) オートプレッシャーコントローラ (自動圧力制御器) UPCシリーズ-岡本機工株式会社

システム フローコントロールシステム (FCS®) オートプレッシャーコントローラ (自動圧力制御器) UPCシリーズ
岡本機工株式会社

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■概要

・動作原理内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。 ・アプリケーション ・電気信号で任意の圧力が設定可能です。 ・1つのラインにマスフロが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフロに影響を与えないように圧力調整を行う。 ・ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。 ・下流圧力制御用。

■仕様

・圧力レンジ F.S 13.3kPa (100Torr) 、F.S. 150/300/500kPa abs. ・供給圧力 0～200kPaG、～897.3kPaG ・供給電源電圧 アナログ:±15VDC (120mA) ・DeviceNet:+11～+25VDC、4.0W ・出力信号 0～10VDC、0～5VDC

  • シリーズ

    システム フローコントロールシステム (FCS®) オートプレッシャーコントローラ (自動圧力制御器) UPCシリーズ

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岡本機工株式会社は、動力伝動機器類を取り扱う専門商社です。 自動車や工作機械などさまざまな分野で必要不可欠な製品で、軸受（じくうけ）と呼ばれ、軸の回転を受ける働きをするベアリングに使用される部品で、転動体（玉やころ）を...

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