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再現性の高い測定 Jupiter XR AFM/SPM アクセサリ-nanoTDDB
再現性の高い測定 Jupiter XR AFM/SPM アクセサリ-オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

再現性の高い測定 Jupiter XR AFM/SPM アクセサリ
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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■概要

Jupiter XR AFMのnanoTDDB機能は、ナノ領域の絶縁破壊特性をウェハのまま評価することが可能です。導電性AFMプローブを流れる電流をモニタしながら、最大±150Vの一定または勾配変化させた電圧を印加することができます。

■特徴

・AFM探針の優れた空間分解能により、従来のプローバでは不可能であった、微小スケール (~20nm) での、局所的な絶縁破壊の測定が可能になります。 ・高解像なAFMイメージから測定点を正確に指定し、グリッドで指定した点をマッピングすることが可能です。

  • シリーズ

    再現性の高い測定 Jupiter XR AFM/SPM アクセサリ

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会社概要

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社は科学研究機器、半導体プロセス装置、分析機器の輸入販売・修理・買取を行っている企業です。 1991年にイギリスのオックスフォード・インストゥルメンツの日本法人として設立されま...

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