光学膜厚制御システムダイレクトモニタ
株式会社昭和真空

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この製品について

■安定かつ高精度な光学膜厚制御を実現本システムは、真空蒸着装置との組み合わせにより、光学膜厚を高精度で制御します。更に、条件設定コンピュータ、シーケンスとの組み合わせにより、全自動化を図ることが可能です。

■特長・最大99層、コンピュータの高速演算で光反射 (透過) 率の極値 (ピーク) を0.1%以下の精度で検出。
・リファレンス制御による光量安定性向上
・可視域、近赤外域が自動切替。従来のような受光器の交換作業が不要
・回折格子を受光器側に装備した結果、外来光からの影響を受けにくい構造
・1%程度の光量変化でも、精度良くピーク検出が可能
・予測演算方式の採用により、S/N比劣時の安定動作が可能