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インライン式周波数調整装置 SFE-X2012取扱企業
株式会社昭和真空商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 排気ポンプ | 設置寸法 | 重量 | 電源容量 | 処理方式 | 真空槽サイズ | 装置構成 | 搬送系 | イオンソース | 計測器 | 周調工程 | パソコン |
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SFE-X2012 |
要見積もり |
RP+TMP+MBP |
W3,000mm×D2,100mm×H2,000mm |
2,150kg |
AC200V (3φ) /18kVA (54A) |
インライン式 |
処理室:W1,100mm×D500mm×H200mm |
3室 (仕込室、処理室、取出室) ※オプションでLD、ULDとドッキングが可能 |
SFE-B03型と同じく軸搬送をH/Lに各々採用 |
100mmビーム矩形型 ×2式 最大48個同時処理 |
ネットワークアナライザー 8台 |
2段階 (H,LL) |
Windows PC×2台 |