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ロードロック式周波数調整装置 SFE-B03-Ⅱ-SFE-B03-Ⅱ
ロードロック式周波数調整装置 SFE-B03-Ⅱ-株式会社昭和真空

ロードロック式周波数調整装置 SFE-B03-Ⅱ
株式会社昭和真空

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この製品について

■周波数調整装置のグローバルスタンダード

本装置は水晶デバイスの周波数調整を行う装置です。省スペース、高精度、高生産性を実現したスタンダードモデルです。高精度・高安定・高再現性の搬送機構の採用により、1.2×1.0以下の微小ワークも安定して生産できます。2室ロードロック方式の為、処理室は常時真空に保持されており、イオンソースの安定稼働が図れます。

■用途・応用例

対象製品｜水晶振動子／水晶発振器 (3,225、2,520、2,016、1,612、1,210、1,008) 、音叉振動子 (3,215、2,012、1,610、1,210)

■特長

・省スペース・高精度・低価格・タクトタイム0.4s/pcs以下を実現 (※SMD3.2×2.5　24MHz　H1,000ppm/s　L50ppm/sの場合) ・リニアイオンソース (ビーム幅：100mm) 搭載24個～32個同時処理が可能 ・高性能の搬送機構による微小ワーク (1.2×1.0以下) の安定生産 ・FLモード (負荷時共振周波数自動演算モード) 搭載 ・イオンソース本体・コンタクト機構の優れたメンテナンス性 ・イオンソースの安定稼働 ・マガジン搬送・オーバードライブ機能付きLD/ULD (三生電子株式会社製) (オプション) ・小型ワークコンタクト調整システム「SEARCHROID®」 (オプション) ※SEARCHROID®は (株) 昭和真空の登録商標です｡

  • シリーズ

    ロードロック式周波数調整装置 SFE-B03-Ⅱ

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ロードロック式周波数調整装置 SFE-B03-Ⅱ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気ポンプ 設置寸法 重量 電源容量 処理方式 真空槽サイズ 装置構成 搬送系 イオンソース 計測器 周調工程
ロードロック式周波数調整装置 SFE-B03-Ⅱ-品番-SFE-B03-Ⅱ

SFE-B03-Ⅱ

要見積もり

RP+TMP

W1,200mm×D1,300mm×H1,800mm

1,000kg

AC200V (3φ) ／10.3kVA (30A)

ロードロック式

処理室：W475mm×D500mm×H220mm

2室 (仕込室、処理室) インターバック式

1軸 X方向のみ

100mmビーム矩形型 1式 　24ビーム (4mmピッチ)

ネットワークアナライザー/周波数カウンター4台 (6素子/1台)

1~4段階 (H，M，L，LL)

この商品の取り扱い会社情報

株式会社昭和真空

会社概要

株式会社昭和真空は、1958年に設立された、真空関連装置メーカーです。 2000年にはJASDAQ上場（現在は東証スタンダード市場）を果たします。 真空技術を中心とした、装置製造を軸としており、全て受注生産であることが...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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