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シリーズ
ウエハトリミング装置 SST-M01T取扱企業
株式会社昭和真空| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 排気ポンプ | 設置寸法 | 重量 | 電源容量 | 到達圧力 | 排気時間 | 排気系 | スループット | 対応材質 | 加工精度 | タイプ | 構成 | イオンソース | 処理枚数 | 対応基板 | 基板ステージ | 真空槽 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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SST-M01T |
要見積もり |
バッファー室：DRP／トリミング室 ：TMP |
W1,120mm×D3,870mm×H2,300mm |
2,700kg |
AC200~220V (3Φ) ／50/60Hz／17.8kVA (51.5A) |
バッファー室：5.0Pa以下 ／ トリミング室 ：8.0×10-4Pa以下 |
バッファー室：40Paまで90秒 ／ トリミング室 ：6.7×10-3Paまで15分 |
バッファー室：ドライポンプ ／ トリミング室 ：ターボ分子ポンプ |
約10分 ／ ウエハ (φ4インチ、SiO2膜、平均加工量100nm) |
Si、SiO₂ 、LT、LNなど |
σ=1.0nm以下 (典型値) |
枚葉式 |
4室 (カセット室、バッファー室、アライナー室、トリミング室) |
昭和真空製、熱陰極電子衝撃型 (カウフマン型) 、Arガス |
1枚/バッチ (25枚用カセットを2個搭載) |
φ4インチ、φ6インチ (静電チャックを組み換えて対応) |
静電チャック ＋ Heガス冷却 |
トリミング室： W850mm×D510mm×H850mm |
