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熱電対 (TC) 付ウェハー-熱電対 (TC) 付ウェハー
熱電対 (TC) 付ウェハー-株式会社インターテック販売

熱電対 (TC) 付ウェハー
株式会社インターテック販売

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この製品について

■概要

PREMTEK製 熱電対 (TC) 付ウェハー。ウェハーに直接埋め込まれた温度センサーにより、直接イン・シチュウエハー温度測定が可能になります。

■特長

センサーは信頼性が高く、測定されるウエハーに直接配置されているため、センサーが配置された正確な場所で実際の温度を提供できます。また、ウエハーの温度プロファイルを正確に測定し、ランピングアップ、クーリングダウン、遅延期間などの過渡状態を含む完全な熱サイクルの温度変化を連続的に監視することができます。

■アプリケーション

・RTP ・リフロー ・オーブン ・CVD ・ホットプレート ・PVD ・スパッタ ・その他のアプリケーション

■認証

・ILAC/ANAB認証サービス ・ISO9001& ISO17025

  • シリーズ

    熱電対 (TC) 付ウェハー

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熱電対 (TC) 付ウェハー 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 工程 メーカー 仕様 ウェハーサイズ 仕様 温度幅 仕様 線精度 仕様 センサ数 仕様 絶縁 仕様 コネクタ
熱電対 (TC) 付ウェハー-品番-熱電対 (TC) 付ウェハー

熱電対 (TC) 付ウェハー

要見積もり

拡散

PREMTEK

2”~12”&カスタムウェハー

-200℃~1,200℃

±1.1c/±0.4% (K type) 以下

1~34Points

シリカスリーブ、石英マイクロチュービング

2ピンミニプラグ＆D-サブ

この商品の取り扱い会社情報

株式会社インターテック販売

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会社概要

インターテック販売では、半導体製造装置やその部品について、新品から中古品までお客様のニーズに合わせてご提案しております。海外メーカーの正規販売代理店として輸入販売している他、保証・アフターサービスのあるリファービッシュ品...

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  • 本社所在地: 東京都

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