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シリーズ
ガス混合器CUBEGMシリーズ取扱企業
エフコン株式会社| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | サイズ | 入力電源 | 消費電流 | 流量制御範囲 | 流量制御 | 流量設定/出力表示 | INLET、OUTLETバルブ | 外部リーク | 耐圧 | 接ガス部材質 | 配管接続 | 使用環境 | 付属品 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
CUBEGM2 |
要見積もり |
W315×D298×H250 (mm) ※突起部を含まず |
AC100V |
MAX 1A※マスフローコントローラー4台搭載の場合 |
1ライン:F.S.10SCCM~20SLM※但し混合ガス流量が50SLM以下のこと |
MFC:C1000シリーズ又はFCST1000シリーズ |
0~5VDC |
ボールバルブ |
≦5×10-7Pa・m3/sec He |
1MPa |
SUS316、PTFE、フッ素ゴム (FCST1000シリーズの場合:磁性ステンレス、フッ素ゴム又はクロロプレンゴム) |
1/4in.SWL (相当品) |
温度:5~50℃ 精度保証範囲:15~35℃ 湿度30~80% (結露なきこと) |
ACケーブル (2m) 、取扱説明書 |