薄膜・樹脂・金属の硬度や弾性率の測定・評価にナノインデンター IND-1500-IND-1500

薄膜・樹脂・金属の硬度や弾性率の測定・評価にナノインデンター IND-1500
日本セミラボ株式会社

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この製品について

ナノインデンテーションは、材料の定量的な機械的特性を解明するためのキー技術です。この技術は現在、硬質薄膜、金属、セラミックス、軟質フィルム、半導体、生物材料、プラスチックの材料弾性、塑性、粘弾性特性をミクロンからナノメートルスケールで測定するための確立された方法となっています。ナノインデンターは、押し込み荷重と変位を測定し、薄膜・樹脂・金属の硬度や弾性率を測定します。INDにAFMヘッドを追加搭載することで、圧痕を直接観察することも可能です。

■特徴・高精度な顕微鏡による自動位置調整
・操作しやすいGUI
・トレーサブル校正で定期校正作業不要
・容易な圧子切り替え

■主な仕様・ワイドレンジ (最大：10mN～5N) 選択可能な3つの最大荷重
・サブナノメーター分解能
・高精度XYZ自動ステージ
・変位測定、負荷力のリアルタイム・フィードバックコントロール