エキスパンダー TEX-21シリーズ EX-300
株式会社テクノビジョン

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この製品について

■シリーズ概要ウェハーエキスパンダーとは、ダイシング／分割されたウェハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げ、ダイシング／分割後のチップハンドリングを著しく向上させるテープ拡張装置です。ウェハーダイシング後のストリート幅は非常に狭く、チップどうしが干渉してカケ、チッピング発生の原因となるため、ウェハーの取り扱いには細心の注意が要求されます。

EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。

テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用意しており、それぞれベーシックモデル、12インチ対応のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能となっています。拡張後は、グリップリング (インナーリングとアウターリングの自動挟み込み) によりテープの拡張状態を保持します。

■製品概要モーター駆動式エキスパンダーは、拡張ステージを上昇させる駆動方式に電動モーターを採用した装置です。本装置は、より高精度かつリピータビリティの優れたモーター駆動方式を採用したウェハーエキスパンダーであり、12インチ対応の「EX-300」となります。8インチまでの対応もご提供可能です。

■特長・0.1mmステップによる拡張ストローク設定
・拡張スピードの設定可
・拡張動作 (スピード) のレシピ機能
・マイコン制御、タッチパネル操作
・プリヒート機能
・拡張率を任意に設定可能。
・拡張スピードを任意に設定可能。
・高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。
・グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。