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In-line Gas Filters CEPURE®-In-line Gas Filters CEPURE®
In-line Gas Filters CEPURE®-クアーズテック合同会社

In-line Gas Filters CEPURE®
クアーズテック合同会社

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この製品について

チューブタイプのアルミナセラミックスをフィルターエレメントに採用し、プロセスガス置換特性を向上、溶接部を接ガス部に出さない耐腐食対策により、腐食などによるパーティクルトラブルを解決します。

■用途

各種半導体プロセス用インラインガスフィルター

■材料

アルミナ多孔体 (エレメント部) ・SUS・ニッケル・PTFE

■機能・特徴

・優れたガス置換特性 ・高耐食性

  • シリーズ

    In-line Gas Filters CEPURE®

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In-line Gas Filters CEPURE® 品番1件

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In-line Gas Filters CEPURE®-品番-In-line Gas Filters CEPURE®

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ガスフィルターをフィルターから探すことができます

使用用途

#排気処理 #計測機器保護 #半導体製造 #化学反応制御

分離対象

酸性ガス対応 塩基性ガス対応 有機ガス対応 温室効果ガス対応

吸着方式

活性炭型 ハイブリッド型

特殊機能

高温耐性型 高湿度耐性型 超高純度型 長寿命型

濾過精度 µm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 3,000

流量 L/min

0 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 50,000

最高使用圧力 MPa

0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 25

最高使用温度 ℃

-50 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 500

最大許容差圧 MPa

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20

重量 kg

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

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26.4時間

会社概要

クアーズテックグループは、110年以上にわたり、常に移り変わるテクニカルセラミックスの最先端を切り開いてきました。またその事業領域もエネルギーや半導体、医療のみならず、機械、食品・農業、輸送、航空宇宙・防衛分野など多岐に...

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  • 本社所在地: 東京都
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